壓電陶瓷致動器

疊層壓電陶瓷致動器是由帶交叉內電極的壓電陶瓷薄片堆疊而成。如圖所示。在外加電壓的驅動下壓電陶瓷致動器會產生橫向或者縱向的形變，同時產生一定的阻滯力。因此，壓電陶瓷微動器作為機電換能器能將電信號轉換成機械位移并應用于調節控制系統。

圖5 壓電結構圖

 
壓電陶瓷致動器產品特點：
換能效率高
位移精度高（納米級）
輸出力大（最大可達到10000N）
響應速度快（亞毫秒到微秒）
功耗低
無電磁干擾
澡聲低
滯后小
回零再現性好
穩定性好
可采用相對簡單的電壓控制方式等
　　  
壓電陶瓷致動器應用范圍：
各種精密微動臺
自適應光學變形鏡
光纖和激光調諧
光學微處理系統
飛行器控制
振動主動控制
掃描探針顯微鏡
超精密加工、集成電路制造
生物醫療工程
快響應精密燃油噴嘴
微泵、微閥等

圖1 壓電陶瓷致動器應用——精密納米定位平臺
 

圖2 壓電陶瓷致動器應用——壓電偏擺鏡


 

圖3 壓電陶瓷致動器應用——壓電掃描平臺

 

圖4 壓電陶瓷致動器應用——壓電六軸聯動器

 
 
壓電陶瓷致動器測試：
正峰制造的每個壓電致動器產品都會在發貨前經過許多性能和安全測試。遵循嚴格的質量管理流程，確保每個致動器都具有高品質和性能。我們的測試包括：
性能測試（行程、諧振頻率、阻抗，等等）
加速壽命測試（評估壓電裝置的可靠性和平均壽命）
交流電測試（考核絕緣強度）
測試致動器的位移，我們采用的設備精度可以達到0.02%，分辨率高0.001μm，能夠自主補償，減少環境對測試結果的影響。

圖6 測試致動器的位移

利用安捷倫阻抗分析儀觀察產品的基本電子性質和性能，比如阻抗、諧振頻率、反諧振頻率等。
 

圖7 測試致動器的電學性能

 
加速壽命測試評估PZT裝置的可靠性和平均壽命。在高溫、高濕、雙倍電壓的環境條件下檢測壓電產品的可靠性和適應性。此外，在產品老化后測定其性能，并與未老化產品的性能進行比較，以評估產品的可靠性與平均壽命。
 

圖8 測試致動器的可靠性